KOKUSAI ELECTRICとその連結子会社6社は、半導体製造装置の製造、販売、保守サービスを提供しています。同社グループは、半導体製造装置事業を単一セグメントとして運営しており、特に「成膜」工程と「熱処理」工程に使用される装置の製造と販売に注力しています。成膜工程では、LP-CVD製品やALD（原子層堆積）技術に対応した製品を提供し、熱処理工程では、熱酸化膜形成やアニールプロセスなどに最適な装置を提供しています。これらの工程は、半導体の回路形成において重要な役割を果たし、高度な技術と品質の信頼性が求められます。

同社グループは、バッチ成膜装置とトリートメント（膜質改善）装置を主力製品としており、バッチALD技術では売上高世界シェア1位、トリートメント装置では世界シェア2位を誇ります。バッチ成膜装置には、高生産性を実現する「ラージバッチ」プラットフォームと、高品質成膜を可能にする「ミニバッチ」プラットフォームがあります。主力製品には、AdvancedAce®シリーズやTSURUGI®剱®シリーズが含まれ、これらは高品質な成膜性能と高生産性を実現します。

サービスビジネスでは、装置のアフターサービス提供に力を入れており、迅速かつ的確なサポート体制を整えています。これには、消耗部品の販売、保守サービス、有償修理、装置の移設・改造などが含まれます。また、ウェーハサイズ200mm以下の装置や中古装置の販売も行っており、特にVERTEX Revolution®などの新製品を市場に投入しています。

KOKUSAI ELECTRICグループは、装置ビジネスとサービスビジネスの両輪で成長を目指しており、2023年3月期の売上収益構成は装置ビジネスが69%、サービスビジネスが31%となっています。同社は、半導体製造装置のライフサイクル全体にわたるサポートを提供し、安定的かつ高マージンな収益を目指しています。

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