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1999年8月
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東京都大田区に各種光学成膜装置の製造販売を目的として当社設立 |
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1999年9月
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埼玉県川越市に第１工場新設 |
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2000年3月
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光通信用多層膜フィルタ成膜装置（NBPF）販売開始 |
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2000年5月
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本社(現 川越技術センター)を埼玉県川越市に移転 |
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2000年12月
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成膜装置部品製造販売を目的に光馳科技（上海）有限公司（現 連結子会社）を設立 |
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2001年1月
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IAD光学薄膜形成装置OTFCシリーズ販売開始 |
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2001年4月
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生産能力拡張を目的に本社工場(現 川越技術センター)に第２工場新設 |
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2004年10月
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光馳科技（上海）有限公司が上海市内の新工場竣工に伴い移転 |
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2006年5月
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汎用型光学薄膜形成装置Generシリーズ販売開始 |
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2007年8月
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光学薄膜装置の生産を本社工場(現 川越技術センター)から光馳科技（上海）有限公司に順次移管 |
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2009年10月
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光学膜用スパッタ成膜装置HSP-1650販売開始 |
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2011年9月
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反応性プラズマ成膜装置RPDシリーズ販売開始 |
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2013年1月
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中国国内営業取引の拡充を目的に光馳（上海）商貿有限公司（現 連結子会社）を設立 |
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2013年9月
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生産・研究開発の拡充を目的に光馳科技股份有限公司（台湾）（現 連結子会社）を設立 |
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2014年2月
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光馳科技股份有限公司（台湾）の工場竣工 |
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2014年8月
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販売体制の拡充を目的にOptorun USA, INC.（現 連結子会社）を設立 |
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2014年9月
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光学膜用スパッタ成膜装置NSC-15販売開始 |
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2014年11月
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成膜事業への事業領域拡大を目的に薄膜加工サービスを提供する東海光電股份有限公司に出資 |
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2017年2月
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光馳科技股份有限公司（台湾）が生産・研究開発の拡充を目的に台湾苗栗県に新工場を取得 |
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2017年3月
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光学膜用スパッタ成膜装置NSC-2350販売開始 |
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2017年8月
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成膜事業への事業領域拡大を目的に薄膜加工サービスを提供する浙江晶馳光電科技有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
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2017年12月
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東京証券取引所市場第一部に株式を上場 |
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2018年9月
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成膜事業への事業領域拡大を目的に成膜装置の設計サービスを提供するAfly solution Oy（現 連結子会社）に出資 |
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2018年11月
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水平スパッタ装置OWLS-1800販売開始
東京都豊島区に東京オフィス(本社)開設 |
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2019年1月
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成膜事業の事業領域拡大を目的に真空部品及び装置の組立・加工サービス等を提供する上海繁楓真空科技有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
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2019年4月
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成膜事業への事業領域拡大を目的に成膜装置を製造販売する東莞匯馳真空製造有限公司に出資 |
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2019年8月
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プラズマ原子層堆積装置A800P販売開始 |
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2019年9月
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両面スパッタ成膜装置OWLS-1800D販売開始 |
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2020年1月
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新型・超多層薄膜形成装置SPOC-1100T販売開始 |
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2020年9月
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成膜装置の設計サービスを提供するAfly solution Oy（現 連結子会社）の株式を追加取得し、連結子会社化 |
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2021年6月
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光学デバイス向けドライエッチング装置DEGシリーズ販売開始 |
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2021年9月
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成膜装置の開発、生産、販売を目的に光馳半導体技術（上海）有限公司（現 連結子会社）を設立
東京証券取引所の新市場への移行に関し、プライム市場を選択申請(2022年１月プライム市場への移行が確定) |
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2022年9月
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研究開発能力強化のため、埼玉県鶴ヶ島市に研究開発施設物件を取得 |
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2023年7月
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光学製品への精密加工装置の開発、製造、販売を目的にナノリソティックス株式会社（現 連結子会社）を設立
部品加工、部品販売、設計、顧客支援を目的に、Optorun Vina Company Limited（現 連結子会社）を設立 |
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2023年8月
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事業基盤の強化及び効率的な事業運営のため、本社を埼玉県鶴ヶ島市に移転 |
