アドテック プラズマ テクノロジー【6668】 決算資料 スタンダード（内国株式）

半導体・液晶関連事業では、製造装置用プラズマ高周波電源、マッチングユニット、計測器の設計・製造・販売、研究機関・大学関連事業では、研究開発用直流電源、パルス電源、マイクロ波電源の提供。